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纳米激光光刻系统原理

   日期:2025-09-12     浏览:0    评论:0    
核心提示:激光直写技术采用全新的技术路径提高加工分辨率,一举突破突衍射极限的限制,成功实现纳米尺度加工;突破了目前激光直写仅能用于
激光直写技术采用全新的技术路径提高加工分辨率,一举突破突衍射极限的限制,成功实现纳米尺度加工;突破了目前激光直写仅能用于有机光刻胶的现状,可以广泛应用于各种受体材料,极大地扩展了激光直写设备的应用范围。
新一代激光直写光刻设备特点
具有超越衍射极限的加工能力
激光直写技术可适用于多种受体材料
本公司可根据客户需要提供定制设备并提供各种微纳结构样品的加工服务。
一、激光直写系统的工作原理
激光直写系统是一种利用激光束直接刻写三维结构的制造方法,其基本工作原理如下:
首先,计算机辅助设计(CAD)软件将所需制造对象的三维模型转换为数字信号,并发送给该产品的控制器。
然后,激光束聚焦到极小尺寸(通常小于1微米),通过扫描控制器按照预定轨迹精确地切割或烧蚀材料表面。此时,激光束强烈的能量密度使得原材料表面发生物理、化学反应,形成被切割、烧蚀的结构。
最后,重复以上步骤,直到制造对象的所有部分都被刻写完成。整个过程由计算机程序控制,可以自动化操作。
二、激光直写系统的应用领域
该产品具有高精度、高效率和高灵活性等优势,在许多领域得到了广泛应用。
微纳加工
激光直写系统能够按照特定的轨迹制造微米级别的结构,如微型电子元器件、微流体芯片、生物芯片等。这种技术在纳米技术、生物医学、光电子学、量子计算等领域有着广泛的应用。
高精度模具制造
该产品能够制造出直径小于1微米的细小结构,使其成为高精度模具制造的理想工具。这种技术可实现快速生产小批量、高精度的模具,同时可以减少制造过程中的浪费和成本。
生物医学
激光直写系统可以用来制造生物芯片、微针和其他微型医疗设备。这种技术可以制造出具有特定结构和功能的微小器件,如药物输送系统、生物传感器等。
光学元件
激光直写系统可以制造高精度的光学元件,如微透镜、光纤耦合器、波导等。这些元件在通信、光电子学、生物医学等领域有着广泛的应用。
纳米激光光刻系统
http://www.huaweina.cn/Products-37611977.html
https://www.chem17.com/st567305/product_37611977.html
 
原文链接:http://www.zbyunfeijx.com/news/show-175203.html,转载和复制请保留此链接。
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